インジウム-スズ酸化物膜の高抵抗化方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東海裕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085973
公開番号（公開出願番号）：特開平7-224383
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】高抵抗な、しかも均一性に優れたITO膜をより効率的に成膜することができる成膜方法を提供する。【構成】酸素の含有する雰囲気下で、ITO成膜を200°C以上の温度にて加熱処理する方法。【効果】特にタッチパネル用途に最適な、均一性に優れた200Ω/□〜3000Ω/□、リニアリティ値±2%以内のITO膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：