特許
J-GLOBAL ID：200903038282967734
試料測定用プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176208
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021845
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 液体中に保持されている試料のノンコンタクトモード測定を可能にする試料測定用プローブ装置を提供する。【構成】 試料保持台14に保持されたシャーレ5において試料1を水溶液2に浸して保持し、探針3を自由端に支持した弾性体4を、振動駆動体12で励振できるようにして内側支持体9に支持する。この際、探針3の長さは、探針3の先端が試料1の近傍に接近したときに弾性体4が水溶液2の液面に触れないような長さに設定する。そして外側支持体10と内側支持体9の下端部及び試料保持台14との間にベローズ6-1,6-2を介在させ、シャーレ5と弾性体4間に気密空間18を形成し、該気密空間18をバルブ7を介して水蒸気源に接続して試料測定用プローブ装置を構成する。
請求項（抜粋）：
液体中に試料を保持する手段と、探針を自由端にほぼ直交して保持した弾性体と、該弾性体に所定の周波数の微振動を与える駆動源と、前記探針の先端が試料の近傍に接近したときの前記探針の微振動の周波数の変化を検出する検出装置とを有する試料測定用プローブ装置において、前記弾性体に保持した探針の長さを、該探針の先端が試料の近傍に接近したときに前記弾性体が前記液体表面に触れないように設定したことを特徴とする試料測定用プローブ装置。
IPC (2件)：
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