特許
J-GLOBAL ID：200903038296974962
リン酸ジルコニル系複合材料及びそれを用いた精密機器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-198025
公開番号（公開出願番号）：特開2000-007428
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：
【要約】【課題】 比重が小さくヤング率の高い、さらに経時変化しない、低熱膨張・高剛性セラミック材料を提供する。【解決手段】 主たる結晶相としてリン酸ジルコニル、第二結晶相として常温における熱膨張率がプラスでヤング率が150GPa以上のセラミックを1種以上含むセラミック複合材料を作製し、第二結晶相の添加量を常温における熱膨張率が、±0.5×10-6/°C以下になるように添加したリン酸ジルコニル系複合材料を用いると、経時変化が無く、ヤング率が高いため温度変化や部材の大型化による寸法変化が少ないため、ステッパー等の半導体及び液晶製造装置などの精密機器の精度を高めることが出来る。
請求項（抜粋）：
主たる結晶相としてリン酸ジルコニル、第二結晶相として常温における熱膨張率がプラスでヤング率が150GPa以上のセラミック相を1種以上含み、リン酸ジルコニルと第2結晶相の比率を調整し、常温における熱膨張率が、±0.5×10-6/°C以下であることを特徴とするリン酸ジルコニル系複合材料。
Fターム (16件)：
4G030AA07
, 4G030AA17
, 4G030AA20
, 4G030AA32
, 4G030AA37
, 4G030AA41
, 4G030AA45
, 4G030AA47
, 4G030AA49
, 4G030BA18
, 4G030BA24
, 4G030CA01
, 4G030GA14
, 4G030GA27
, 4G030GA29
, 4G030PA25
