特許

J-GLOBAL ID：200903038301393809

熱式空気流量センサ

発明者： 渡辺 泉 ,  山田 雅通 ,  中田 圭一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立カーエンジニアリング
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184771
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012987
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】冷熱サイクル等の熱ストレスに強く、腐食環境下においても信頼性の高い構造とする。また、出力特性の精度ばらつきや出力ノイズを低減するとともに、部品点数の削減と小型化により、作業性の良い低価格の熱式空気流量センサを提供する。【解決手段】半導体センサ素子を窪みを有するセラミック製積層基板の窪み部に配置するとともに、該積層基板に制御回路と金属膜を形成する。さらに半導体センサ素子と積層基板の電気的接続部をエポキシ樹脂で保護し、該エポキシ樹脂部を空気通路中に配置させる。

請求項（抜粋）：

半導体基板に形成した測温抵抗体と該半導体基板の薄肉部に形成した発熱抵抗体とを含む測定部位を有する半導体センサ素子を、窪みを有する積層基板の窪み部に前記半導体センサ素子の測定部位と該積層基板の表面がほぼ同一平面になるように構成すると共に、該積層基板に前記測温抵抗体の温度に対して所定の温度だけ高くするよう前記発熱抵抗体に加熱電流を流す制御を実行し流量信号を得る制御回路を実装したことを特徴とする熱式空気流量センサ。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  F02D 35/00

FI (2件)：

G01F 1/68 ,  F02D 35/00 366 E

Fターム (3件)：

2F035AA02 ,  2F035EA04 ,  2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 空気流量測定装置及び自動車用電子回路装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-170629   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング
• 特開昭62-123318
  
• 特開昭62-123318