特許

J-GLOBAL ID：200903038308750135

基板のエッジ保持アライナー

発明者： 馬場 寛次
出願人/特許権者： アシストジャパン株式会社
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-348595
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151577
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：

【要約】【課題】ハンドとの基板の移し替えを短時間で行なえる基板のエッジ保持アライナーを提供すること。【解決手段】アライナーMは、機台1と、機台1に対して回転可能に配置される回転用保持部10と、回転用保持部10の下方に配置される上下移動用保持部20とを有している。回転用保持部10は、4等分されたアーム部11を有し、各アーム部11の先端部にウェハのエッジを保持する保持部13を有している。上下移動用保持部20は、放射線方向に沿って配置された複数の保持片22を一体的に連結して上下移動可能に構成される上下移動用保持体21を3組備えている。すべての保持片22は同一高さに配置され、各上下移動用保持体21は、上下方向に3段に配置される上下駆動部23を有して構成される。

請求項（抜粋）：

基板をロボットのハンドから受け渡される際に、前記基板のエッジを保持して回転可能に配置される回転用保持部と、前記基板を前記ハンドに受け渡す際に、前記基板を前記回転用保持部より上方の位置に移動させる上下移動用保持部とを有して構成される基板のエッジ保持アライナーであって、前記回転用保持部が、前記上下移動用保持部の上方の位置で、回転中心軸に対して放射線方向に配置された複数のアーム部を一体的に連結してなり、前記上下移動用保持部が、前記回転用保持部の各アーム部に干渉することなくそれぞれ単独に上下動する複数の分割された基板保持片を備えて構成されていることを特徴とする基板のエッジ保持アライナー。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/08

FI (3件)：

H01L 21/68 G ,  B25J 15/00 E ,  B25J 15/08 K

Fターム (16件)：

3C007HS27 ,  3F061BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA24 ,  5F031HA26 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031LA07 ,  5F031PA09 ,  5F031PA26