特許

J-GLOBAL ID：200903038311659122

静電アクチユエータ

発明者： 樋口 俊郎 ,  近藤 雅俊
出願人/特許権者： 樋口 俊郎 ,  住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 牧野 剛博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271956
公開番号（公開出願番号）：特開平5-091761
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 一定の駆動力を得るための印加電圧を下げて、安全性及び実用性を高める。【構成】 固定子1を、フィルム状の絶縁体からなるベース層3と、その上に配列された複数の帯状電極4と、その上に形成された比誘電率10以上のフィルム状の誘電体層5とで構成する。固定子1の上に、フィルム状の移動子10を載置する。そして、帯状電極4への印加電圧の切り換えにより、固定子1と移動子10との間に静電気力を発生させ、それにより移動子10を固定子1から浮上させて帯状電極4の配列方向に沿って移動させるように構成する。

請求項（抜粋）：

絶縁体内に複数の帯状電極を配列してなるフィルム状の固定子と、前記固定子上に載置されるフィルム状の移動子と、前記帯状電極への印加電圧の切り換えにより固定子と移動子との間に静電気力を発生させ、それにより前記移動子を固定子から浮上させて帯状電極の配列方向に沿って移動させる駆動制御回路と、を具備した静電アクチュエータにおいて、前記固定子が、フィルム状の絶縁体からなるベース層の上に前記帯状電極を形成し、その上に比誘電率10以上のフィルム状の誘電体層を形成してなるものであることを特徴とする静電アクチュエータ。