特許

J-GLOBAL ID：200903038313813749

露光装置及び位置検出方法

発明者： 宮島 秀行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-107014
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288876
出願日： 1998年04月02日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 メカ的制限装置の取付け誤差の有無にかかわらず、マスクステージの許容最大移動範囲(最大移動ストローク)を常に適切に設定する。【解決手段】 制御装置では、モータ20A、20Bを制御してマスクステージ36を移動し、メカリミット・ダンパ52C、52D、52E、52Fを作動させて、移動限界範囲を計測し、その計測された移動限界範囲内の両端にそれぞれ所定のマージンをとった範囲をマスクステージ36の許容最大移動範囲としてソフト的に設定する。このため、メカリミット・ダンパ52C、52D、52E、52Fの取付け誤差があっても、これに影響を受けることなく、マスクステージ36の許容最大移動範囲を適切に設定することができる。

請求項（抜粋）：

マスクに形成されたパターンを感応基板上に転写する露光装置であって、前記マスクを保持するマスクステージと;前記マスクステージを所定方向に駆動する駆動装置と;前記マスクステージの前記所定方向の移動限界範囲を規定するメカ的制限装置と;前記駆動装置を制御して前記マスクステージを移動し、前記メカ的制限装置を作動させて、前記移動限界範囲を計測するとともに、その計測された移動限界範囲内の両端にそれぞれ所定のマージンをとった範囲を前記マスクステージの許容最大移動範囲としてソフト的に設定する制御装置と;を備える露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 516 B ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 E