特許

J-GLOBAL ID：200903038315596940

ペリクル

発明者： 鈴木 樹 ,  清田 徹
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-105255
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281709
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 粘着剤をペリクル枠に塗布したペリクルをマスクから剥離する際に、粘着剤層がペリクル枠から剥離せず、粘着剤層がマスクに残らないため、マスクを粘着剤で汚染したり、マスクを破損したりすることのないペリクルを提供する。【構成】 ペリクル枠上に粘着剤が付着されているペリクルにおいて、粘着剤が付着される部分のペリクル枠表面に凹凸が形成されているペリクル。

請求項（抜粋）：

ペリクル枠の片面にペリクル膜が貼付され、その反対面のペリクル枠上に粘着剤が付着されているペリクルにおいて、粘着剤が付着される部分のペリクル枠表面に凹凸が形成されていることを特徴とするペリクル。