特許

J-GLOBAL ID：200903038315597032

シリコンインゴットのスライス台

発明者： 和田 千春 ,  三崎 紀彦 ,  酒巻 誠 ,  片桐 誠 ,  大園 浩一
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-235446
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058364
出願日： 1997年08月15日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 シリコンインゴットを薄く切断して複数枚のシリコンウエハを得る際にシリコンインゴットを接着固定するスライス台において、強度、剛性、耐油性、シリコンに近い熱膨張係数、接着剤の剥離性、絶縁性、硬度、軽量性などの面で優れたものを安価に提供する。【解決手段】 カルシウムシリケートとリチウムアルミノシリケートを主要構成相とする焼結体で構成する。ウォラストナイト等のカルシウムシリケートにスポジューメン等のリチウムアルミノシリケートを内割りで5〜95重量%含有する焼結体で構成する。

請求項（抜粋）：

シリコンインゴットを薄く切断して複数枚のシリコンウエハを得る際にシリコンインゴットを接着固定するスライス台であって、カルシウムシリケートとリチウムアルミノシリケートを主要構成相とするカルシウムシリケート焼結体からなることを特徴とするシリコンインゴットのスライス台。

IPC (2件)：

B28D 5/00 ,  H01L 21/304 311

FI (2件)：

B28D 5/00 Z ,  H01L 21/304 311 Z