特許

J-GLOBAL ID：200903038324391560

高速密結合波分析のための層内計算のキャッシング

発明者： ニウ,シンフイ ,  ジャカダール,ニッキル ハーシャバーダン
出願人/特許権者： タンバー テクノロジーズ,インコーポレイティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-555766
公開番号（公開出願番号）：特表2003-521727
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月15日
要約：

【要約】周期格子プロフィールからの電離放射線の回折は、計算時間を削減するために中間計算をキャッシングして、密結合波分析を用いて決定される。計算を実施するために、周期格子は層に分割され、格子のリッジの横断面は矩形区分に離散化され、誘電率、電場及び磁場は、格子の周期性の方向に沿って調和展開として書込まれる。各々の中間層すなわち大気層及び基板層を除く各層に対してマクスウェルの方程式を適用することによって、格子の平面に対して垂直な方向でその第2偏導関数に電場の高調波振幅を結合する波数ベクトル行列Aを伴いこの波動ベクトル行列Aが層内パラメータ及び入射放射線パラメータの一関数である行列波動方程式が提供される。Wは、波動ベクトル行列Aから得られた固有ベクトル行列であり、Qは波動ベクトル行列Aの固有値の平方根の対角行列である。層間境界における磁場の連続性必要条件は、各層境界についてW及びQで表わした行列方程式を提供し、一連の行列方程式を解くことで回折反射率が提供される。有用な範囲の層内パラメータ(すなわち高調波誘電率、周期性長さ、リッジ幅、リッジオフセット)及び入射放射線パラメータ(すわなち波長及び入射角)について予め計算されたキャッシングされるW及びQを参照することによって、回折反射率を計算するための計算時間の実質的削減が提供される。

請求項（抜粋）：

一つの周期性方向をもつ周期格子による入射電磁放射線の回折の分析計算時間を短縮するための方法において、前記分析は前記周期格子の複数の層への分割を含み、第1の層は前記周期格子の上の空間に対応し、最終層は前記周期格子の下の基板に対応し、前記周期格子の周期的特徴が前記第1の層と前記最終層の間の中間層に存在し、前記周期的特徴の横断面が複数の積み重ねられた矩形区域に離散化されており、前記層の各々の中で前記周期性方向に沿う高調波成分の和として誘電率及び電磁場が公式化され、マックスウェルの方程式の適用が、前記電磁場中の一つの電磁場の第1の高周波振幅と波動ベクトル行列の積を前記周期格子平面に垂直方向についての前記電磁場中の一つの電磁場の前記第1の高周波振幅の2次偏導関数に等しいとする前記中間層の各々に対する層内行列方程式を提供し、前記波動ベクトル行列は層内パラメータ及び入射放射線パラメータにより依存し、前記層内行列方程式の同次解が、前記電磁場の一つの前記第1の高周波振幅の前記波動ベクトル行列の固有ベクトル及び固有値に依存した第1の指数関数展開である方法であって、- 層特性パラメータ領域及び層特性パラメータ領域サンプリングの決定段階、- 前記電磁場の高調波成分に対する最大高調波次数の決定段階、- 前記層特性パラメータ領域サンプリングにより決定された前記層特性パラメータ領域内の各層特性値に対する所要高調波誘電率の計算段階、- 入射放射線パラメータ領域及び入射放射線パラメータ領域サンプリングの決定段階、- 前記層特性パラメータ領域サンプリングにより決定された前記層特性パラメータ領域内の前記各々の層特性値及び前記入射放射線パラメータ領域サンプリングによって決定された前記入射放射線パラメータ領域内の各入射放射線値に対する前記所要高調波誘電率に基づく前記波動ベクトル行列の計算段階、- 前記層特性パラメータ-領域サンプリングにより決定された前記層特性パラメータ領域内の前記各々の層特性値及び前記入射放射線パラメータ領域サンプリングによって決定された前記入射放射線パラメータ領域内の前記各入射放射線値に対する前記波動ベクトル行列の各々の固有ベクトル及び固有値の計算段階、- メモリ内の前記各々の波動ベクトル行列の前記固有ベクトル及び前記固有値のキャッシング段階、及び- 前記周期格子による前記入射電磁放射線の回折の分析のための前記固有ベクトル及び前記固有値の使用段階を具備する方法。

Fターム (3件)：

2H049AA07 ,  2H049AA13 ,  2H049AA51