特許

J-GLOBAL ID：200903038329782053

イメ-ジセンサチップのシフトを測定するためのシステム及びその方法

発明者： ルー ユイヤン ,  リャン ナイユエ
出願人/特許権者： エイサー ペリフェラルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-199702
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 従来の破壊的な測定方法に取って代われるような、イメージセンサチップのシフトを測定するためのシステム及びその方法を提供すること。【解決手段】所定のパターンを有したテスト図30と、一列に並び、各自複数のセンサを含有するような複数のイメージセンサチップを有し、これには隣り合う2つのイメージセンサチップの各端点に位置するセンサも含有されるような、接触式イメージセンサモジュール20と、駆動装置50と、前記駆動装置を制御し、前記接触式イメージセンサモジュールと前記テスト図に所定方向の相対運動を生じさせることにより、前記接触式イメージセンサモジュールに前記テスト図を走査させ、前記センサで検知された前記所定のパターンに対応する信号波形を獲得して前記センサ間の間隔距離を計算するための制御システム40と、を備えてなるような、システムを新たに見出した。

請求項（抜粋）：

所定のパターンを有したテスト図と、一列に並んだ複数のイメージセンサチップを有し、前記各イメージセンサチップには複数のセンサが設けられており、これらのセンサには、隣り合う2つのイメージセンサチップの各端点に位置するセンサも含有されるような、接触式イメージセンサモジュールと、前記接触式イメージセンサモジュールと前記テスト図に所定方向の相対運動を生じさせるために使用される駆動装置と、前記駆動装置を制御することにより、前記接触式イメージセンサモジュールに前記テスト図を走査させ、前記隣り合う2つのイメージセンサチップの各端点に位置する前記センサでそれぞれ検知された前記所定のパターンに対応する信号波形を獲得し、前記隣り合う2つのイメージセンサチップの各端点に位置する前記センサ間の間隔距離を計算するための制御システムと、を備えてなるような、イメージセンサチップのシフトを測定するためのシステム。