特許
J-GLOBAL ID:200903038339078753
圧電性結晶の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
荒船 博司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-041550
公開番号(公開出願番号):特開平7-247193
出願日: 1994年03月11日
公開日(公表日): 1995年09月26日
要約:
【要約】【目的】 結晶育成中における異常成長稜およびクラックの発生を抑制し、以て弾性表面波装置用の基板の製造に好適な大口径の結晶の製造を可能ならしめる圧電性結晶、特に四硼酸リチウム結晶の製造方法を提供する。【構成】 垂直ブリッジマン法又は垂直グラディエントフリージング法を採用し、種結晶2cとして、圧電分極軸の正である方位の面を露出してなる複数の四硼酸リチウム単結晶2a,2bをその圧電分極軸の正である方位の面同士を合わせた状態で一体化してなる種結晶2cを用いるとともに、該種結晶2cの融解位置を、育成結晶100の成長とともに前記種結晶2cの圧電分極軸の正である方位の面同士を合わせてなる合わせ面2dから成長してなる双晶面100aが育成結晶100外に抜けないような範囲に設定して、四硼酸リチウム結晶100を育成する。【効果】 大口径の圧電性結晶、特に四硼酸リチウム結晶を歩留りよく製造することが可能となる。
請求項(抜粋):
圧電性結晶原料を加熱炉内で融解し、その融解してなる原料融液を種結晶に接触させ、前記原料融液に対する前記加熱炉のヒータを前記種結晶の位置から前記原料融液側に相対的に変位させて、同原料融液を前記種結晶との接触部位から垂直方向に固化させる垂直ブリッジマン法により圧電性結晶を育成するにあたって、前記種結晶として、圧電分極軸の正である方位の面を露出してなる複数の圧電性単結晶をその圧電分極軸の正である方位の面同士を合わせた状態で一体化してなる種結晶を用いるとともに、該種結晶の融解位置を、育成結晶の成長とともに前記種結晶の圧電分極軸の正である方位の面同士を合わせてなる合わせ面から成長してなる双晶面が育成結晶外に抜けないような範囲とすることを特徴とする圧電性結晶の製造方法。
IPC (4件):
C30B 11/14
, C30B 29/22
, H03H 3/08
, H03H 9/25
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