特許
J-GLOBAL ID：200903038348801018
グロープラズマ反応方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267501
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106053
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 円筒管等の絶縁体管の内面や内部の静止、移動または流通物を効果的にプラズマ処理あるいは反応する。【構成】 外周部に一対のスパイラル状平行電極対を設けた絶縁体管の一端部から反応性ガスを導入し、管内部に低圧グロー放電プラズマを発生させて、管内面、または管内部の静止、移動あるいは流通物を処理する。
請求項（抜粋）：
外周部に一対のスパイラル状平行電極対を設けた絶縁体管の一端部から反応性ガスを導入し、管内部に低圧グロー放電プラズマを発生させて、管内面、または管内部の静止、移動あるいは流通物を処理することを特徴とするグロープラズマ反応方法。
IPC (3件)：
C23C 16/50
, C08F 2/52 MDY
, H05H 1/46
