特許

J-GLOBAL ID：200903038352218874

粘着シートを具備するウェハー保持部材,及び粘着シートの剥離方法

発明者： 鶴島 邦明
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (3件)： 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-357600
公開番号（公開出願番号）：特開2004-193237
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】リングフレーム上に接着剤を残留させることなく,エラストマー樹脂シート(例えばシリコーンシート)をリングフレームから容易に剥離する。【解決手段】エラストマー樹脂からなる粘着シート120が両面テープ140を介してリングフレーム160に貼り合わされているウェハー保持部材100において,前記両面テープ140の少なくとも一面の接着剤層146は,所定のエネルギーが付与されると粘着力が低下する性質を有する接着剤により形成されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

エラストマー樹脂からなる粘着シートが両面テープを介してリングフレームに貼り合わされているウェハー保持部材において, 前記両面テープの少なくとも一面の接着剤層は,所定のエネルギーが付与されると粘着力が低下する性質を有する接着剤により形成されている, ことを特徴とするウェハー保持部材。

IPC (5件)：

H01L21/68 ,  C09J7/02 ,  C09J133/00 ,  C09J201/00 ,  H01L21/301

FI (5件)：

H01L21/68 N ,  C09J7/02 ,  C09J133/00 ,  C09J201/00 ,  H01L21/78 M

Fターム (25件)：

4J004AA10 ,  4J004AB07 ,  4J004EA05 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040JA09 ,  4J040JA10 ,  4J040JB08 ,  4J040KA13 ,  4J040KA37 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20 ,  4J040PA22 ,  4J040PA42 ,  5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031DA15 ,  5F031EA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA78 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37 ,  5F031MA39