特許

J-GLOBAL ID：200903038363503473

金属含有ポリマーとその製造法

発明者： 小林 四郎
出願人/特許権者： 小林 四郎
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052902
公開番号（公開出願番号）：特開平5-255511
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 レジスト材料、エレクトロニクス材料、接着剤、傾斜機能材料等として有用な、金属含有ポリマーの製造。【構成】 一般式(1)(式中のMは第14族金属原子、Xは、N(SiR3 R4 R5 )2またはN(R6 )SiR3 R4 R5 ,R1 およびR2 は、各々、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、R3 ,R4 ,R5 およびR6 は、各々、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、nは2〜2000の整数、mは1〜100の数を示す。)で表わされる金属含有ポリマー。

請求項（抜粋）：

一般式(1)【化1】(式中のMは第14族金属原子、Xは、N(SiR3 R4 R5 )2またはN(R6 )SiR3 R4 R5 、R1 およびR2 は、各々、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、R3 ,R4 ,R5 およびR6 は、各々、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、nは2〜2000の整数、mは1〜100の数を示す。)で表わされる金属含有ポリマー。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特公昭57-058536