特許
J-GLOBAL ID：200903038364257808

無機圧電体のポーリング処理方法、及び、圧電素子の製造方法

発明者：
二瓶 靖和

二瓶 靖和 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-373608
公開番号（公開出願番号）：特開2006-203190
出願日： 2005年12月26日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】圧電アクチュエータ等として用いられる圧電素子の製造において、無機圧電材料によって形成された圧電体に施されるポーリング処理を効率的に行う。【解決手段】無機圧電体のポーリング処理方法は、無機圧電材料によって形成され第1の面に電極11が形成されている圧電体12の第1の面と対向する第2の面上に、間隙を介してコロナワイヤー20を配置する工程と、電極とコロナワイヤーとの間に電圧を印加することにより、圧電体の第2の面に電荷を供給して、圧電体内に電界を発生させる工程とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
無機圧電材料によって形成され第1の面に電極が形成されている圧電体の前記第1の面と対向する第2の面上に、間隙を介して電荷供給手段を配置する工程(a)と、 前記圧電体の前記第2の面に電荷を供給することにより、前記圧電体内に電界を発生させる工程(b)と、 を具備する無機圧電体のポーリング処理方法。
IPC (7件)：
H01L 41/22 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (7件)：
H01L41/22 B ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103A
Fターム (7件)：
2C057AF93 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057AP90 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)

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