特許
J-GLOBAL ID：200903038370843832
ダスト計数装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307734
公開番号（公開出願番号）：特開平5-143810
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 例えば半導体のクリーン化技術等のように、ダストの粒径が非常に小さく数も非常に少ない試料空間を対象にしても、有効なデータとして必要な数のダストをより短時間で高い検出率でもって確実に計数できるダスト計数装置を提供する。【構成】 ダストを含む試料1を導入し、この試料1中からダストを捕集するサイクロン21と、光源4、集光ミラー3および受光器10等で構成され、サイクロン21で捕集されたダストを計数する計数手段とで構成する。
請求項（抜粋）：
ダストを含む試料を導入し上記試料中から上記ダストを捕集する捕集手段と、上記捕集されたダストを導入して計数する計数手段とを備えたことを特徴とするダスト計数装置。
IPC (2件)：
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