特許

J-GLOBAL ID：200903038371072015

静電吸着装置

発明者： 伊藤 陽一 ,  七田 弘之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-058423
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275707
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】本発明によれば、室温以下の温度範囲において信頼性の高い静電吸着装置を提供することができる。【構成】Mo製の電極10上に絶縁膜11としてSiC焼結体をろう材12により接合して静電吸着電極13を構成して絶縁膜11の固有抵抗値を1×1010から1×1012Ω-cmの範囲でしかも誘電率が10以上とすることにより室温以下の温度範囲において静電吸着の信頼性を向上する。【効果】室温以下の温度範囲において信頼性の向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

電極温度を室温以下に冷却してプラズマにより処理されるウエハを絶縁膜との間に発生させた静電吸着力により支持する静電吸着装置において、固有抵抗値が1×1010から1×1012Ω-cm範囲でしかも誘電率が10以上の絶縁膜を用いることを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-246965   出願人：東陶機器株式会社
• 特開平3-204924