特許
J-GLOBAL ID：200903038373270027
被加工物の加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳瀬 睦肇
, 渡部 温
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2007064420
公開番号（公開出願番号）：WO2008-013134
出願日： 2007年07月23日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：
ウエハやシリンダ内面等の被加工物の表面を鏡面に仕上げる面加工装置及び被加工物の被加工物の加工方法に関し、高い加工効率で精度の高い基板の表面処理を行う。刃を用いた被加工物となるウエハやシリンダ内面等の表面を表面加工する被加工物の被加工物の加工方法であって、刃の基板の表面に対する加工速度をvとし、被加工物を構成する構成材料の圧縮応力波の横波伝播速度をc2とした場合、バイトの加工速度vがv≧c2となるような速度で表面加工する。被加工物に当たる前の刃の運動エネルギーが、被加工物を構成する材料の原子間結合子を剪断するためのエネルギーと、削り取られた被加工物が刃とともに移動するときの運動エネルギーと、刃が横波伝播速度以上の速度で移動するときの運動エネルギーとの総和よりも大きいのが好ましい。
請求項（抜粋）：
被加工物を構成する材料における圧縮応力波の横波伝播速度以上の速度で、刃を前記被加工物の面に対して相対的に移動させることにより前記被加工物の面を削る、被加工物の加工方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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