特許
J-GLOBAL ID：200903038378069540
集積回路の電界測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044309
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240895
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】市販のウエハプローバ上に、従来の高周波電気信号プローブと同じような要領で固定して用いる、小型で安価な電気光学サンプリング用の集積回路の電界測定装置を提供する。【構成】電気光学材料を透明な材料の先端に固定したプローブと、該プローブにレーザ光を照射して反射光を取り出すための光学手段と、レーザ光の照射位置を観察するためのミラーを備えた第1のモジュール8と、レーザ光の偏光変化あるいは強度変化を検出するための光学手段と光信号を電気信号に変換するための光検出器とを備えた第2のモジュール12と、さらに上記第1と第2のモジュールを光ファイバ13で結合した構成を備える。
請求項（抜粋）：
集積回路の動作により生じる信号電界により複屈折率が変化する電気光学材料にレーザ光を入射させ、該信号電界の強度に応じて変化したレーザ光強度を測定することにより上記集積回路上の信号波形を検出する集積回路の電界測定装置において、電気光学材料を透明な材料の先端に固定したプローブと、該プローブにレーザ光を照射して反射光を取り出すための光学手段と、レーザ光の照射位置を観察するためのミラーを備えた第1のモジュールと、レーザ光の偏光変化あるいは強度変化を検出するための光学手段と光信号を電気信号に変換するための光検出器とを備えた第2のモジュールと、さらに上記第1と第2のモジュールを光ファイバで結合した構成を備えることを特徴とする、集積回路の電界測定装置。
引用特許：
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