ウェハのアライナー装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289979
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100850
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】ウェハのエッジを確実に把持してウェハの位置ずれを防止するとともに連続的にウェハの位置合わせを行なえるアライナー装置を提供すること。【解決手段】アライナー装置1は、機台10と、ウェハ3の受渡しアーム部20と保持クランパー30とを有して構成されている。受渡しアーム部20は、下段爪部221、231と上段爪部222、232とを有してバッファステージを構成するとともにシフト角度回転駆動部13によって、所定角度回転できるように構成され、保持クランパー30は、昇降駆動部15によって昇降可能に構成されるとともに、昇降時に開閉駆動部16によって開閉可能に構成されている。これによってウェハ3のエッジを把持または把持解除することができる。さらに保持クランパー30は回転駆動部14によって回転可能に構成され、検出部40においてウェハ3のノッチまたはオリフラ位置を検出する。

請求項（抜粋）：

ウェハを保持して回転可能に配置される保持手段と、ロボットから搬送されたウェハを保持して前記保持手段に受渡しする受渡し手段と、前記ウェハの回転中にノッチまたはオリフラ位置を検出する検出手段と、を備え、前記ウェハのノッチまたはオリフラ位置を基準回転位置に一致させるように構成されたウェハのアライナー装置であって、前記受渡し手段は、前記ウェハ保持部を2段に有するとともに、第1回転駆動手段によって所定角度回転可能に構成され、さらに、前記保持手段を、前記ウェハ保持部の上方と下方の間で昇降できるように第1開閉駆動手段によって開閉可能に構成され、前記保持手段は、前記受渡し手段のウェハ保持部を間にして昇降可能なウェハ把持部を有して第2回転駆動手段によって回転可能に構成され、かつ昇降駆動手段によって、前記ウェハを前記受渡し手段のウェハ保持位置を間にして下方の位置から上方の位置まで移動可能に構成されるとともに、前記ウェハのエッジを把持または把持解除するための第2開閉駆動手段によって開閉可能に構成されていることを特徴とするウェハのアライナー装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 G , H01L 21/30 520 A

Fターム (27件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA15 , 5F031HA08 , 5F031HA09 , 5F031HA24 , 5F031HA27 , 5F031HA30 , 5F031HA58 , 5F031HA59 , 5F031JA05 , 5F031JA15 , 5F031JA17 , 5F031JA27 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031KA08 , 5F031KA13 , 5F031KA14 , 5F031LA01 , 5F031MA22 , 5F031PA08 , 5F046CD01 , 5F046EA30 , 5F046EB01 , 5F046FC08

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