特許
J-GLOBAL ID:200903038381634518

再投影光学システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-080965
公開番号(公開出願番号):特開平6-027382
出願日: 1993年04月07日
公開日(公表日): 1994年02月04日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、広い視界、広いスペクトル帯域を有し、低価格の反射光学システムの利点を保持しながら、焦点平面組立てインターフェイスを簡単にし、小型で長い動作距離のカタジオプトリック光学システムの利点も有している再投影光学システムを提供することを目的とする。【構成】 1次反射鏡22が観察された物体の放射線ビームを受信し、投射し、2次反射鏡24が1次反射鏡22からこの放射線ビームを受信し、投射するように位置され、1次反射鏡22が観察された物体の中間画像を形成する1次および2次反射鏡を含む対物装置と、画像平面16に中間画像を再投影するために2次反射鏡24からの放射線ビームを受信するように位置された屈折光学素子32および回折光学素子34を含む中継装置14とを具備していることを特徴とする
請求項(抜粋):
1次反射鏡が観察された物体の放射線ビームを受信し、投射し、2次反射鏡が前記1次反射鏡から前記放射線ビームを受信し、投射するように位置され、前記1次反射鏡が前記観察された物体の中間画像を形成する1次および2次反射鏡を含む対物装置と、画像平面に前記中間画像を再投影するために前記2次反射鏡から前記放射線ビームを受信するように位置された屈折光学素子および回折光学素子を含む中継装置とを具備していることを特徴とする再投影光学システム。
IPC (3件):
G02B 17/08 ,  G02B 27/18 ,  G02B 27/42
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭60-049313
  • 特開平3-265812
  • 特開平4-016910

前のページに戻る