特許

J-GLOBAL ID：200903038387638744

フレキシブル基板吸着装置

発明者： 芳沢 正義 ,  亀井 重喜 ,  柳澤 喜行 ,  宮地 静一 ,  渋江 人志 ,  小林寛隆 ,  桐谷 恭子
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-286740
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100652
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 ベアチップの実装時にフレキシブル基板を所定の形状に固定し、固定されたフレキシブル基板を変形させることなく、ベアチップの実装を行う。【解決手段】 実装領域10aの周囲を略四角形状に取り囲むようにバックアッププレート2の吸着穴2a〜2dを形成し、このように形成された吸着穴2a〜2dによって、実装領域10a以外の位置で薄型インターポーザ10を吸着する。

請求項（抜粋）：

電子部品の実装時に前記電子部品が実装されるフレキシブル基板を吸着固定するフレキシブル基板吸着装置において、前記フレキシブル基板における前記電子部品の実装面の反対面側に配置され、前記電子部品の実装領域以外の位置で前記フレキシブル基板を吸着する吸着穴を有すると共に、前記吸着時に、前記フレキシブル基板に一定の形状を与えるバックアッププレートと、前記吸着穴に接続され、前記フレキシブル基板を前記吸着穴に吸着させる吸引手段と、を有することを特徴とするフレキシブル基板吸着装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 ,  H05K 13/04

FI (2件)：

H01L 21/60 311 T ,  H05K 13/04 Q

Fターム (5件)：

5E313AA03 ,  5E313AA12 ,  5E313CC03 ,  5E313FF12 ,  5F044PP15