特許

J-GLOBAL ID：200903038387872046

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びレジストパターンの製造法

発明者： 立木 繁雄 ,  沢辺 賢 ,  中村 三佳
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-171958
公開番号（公開出願番号）：特開平7-028239
出願日： 1993年07月13日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 金属に対する密着性とテンティング膜の強度の共に向上した感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (a)アクリル酸及び/又はメタクリル酸と、ポリスチレン又はポリスチレン共重合体の片末端に一つの重合性不飽和基を有するマクロモノマーとを必須成分として共重合した酸価20〜300のグラフトポリマー、(b)光重合性不飽和基を分子内に2個以上有するモノマー及び(c)光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(a)アクリル酸及び/又はメタクリル酸と、ポリスチレン又はポリスチレン共重合体の片末端に一つの重合性不飽和基を有するマクロモノマーとを必須成分として共重合した酸価20〜300のグラフトポリマー、(b)光重合性不飽和基を分子内に2個以上有するモノマー及び(c)光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/11 501 ,  G03F 7/30 ,  H05K 3/00