特許

J-GLOBAL ID：200903038389514660

露光装置

発明者： 宮島 義一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-079416
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267234
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 縮小投影光学系を露光装置本体に搭載する際に、縮小投影レンズを保持する鏡筒および縮小投影光学系への歪みの発生、静変形やウオブリング、振動の発生等を防ぐことができる露光装置を提供する。【解決手段】 縮小投影光学系3における鏡筒3aの鏡筒フランジ3bの下面に静圧手段の静圧パッド3eを設け、投影光学系3を静圧パッド3eを介して露光装置本体5の鏡筒支持部材5aに装着することにより、投影光学系3の略全荷重あるいはその一部を静圧パッド3eで支持することができ、鏡筒支持面5cの面精度の影響や鏡筒支持面5cと鏡筒フランジ3bとの間の異物等の影響を無くし、投影光学系3の投影レンズや鏡筒3aに歪みを発生させることなく装着することができ、投影光学系の収差の悪化が発生せず、良好な露光精度を得ることができる。

請求項（抜粋）：

原版面に描かれたパターンを投影光学系を介して基板に投影転写する露光装置において、前記投影光学系を構成する投影レンズおよび該投影レンズを保持する鏡筒の略全荷重または少なくとも全荷重の一部を静圧手段または磁気静圧手段で支持することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (5件)：

5F046AA23 ,  5F046BA03 ,  5F046CB20 ,  5F046DA12 ,  5F046DB05