特許

J-GLOBAL ID：200903038398817322

バブラー

発明者： 金 大 植
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-286639
公開番号（公開出願番号）：特開2001-131754
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】 薄膜蒸着用試料を気化させるバブラーを提供する。【解決手段】 気化室と、前記気化室に設けられた試料注入口を通して前記気化室内に気化対象試料を供給する試料供給部と、前記気化室内に流入される前記試料を安着させるために前記気化室内に設けられたプレートと、気化された試料を前記気化室の外部に送出するために前記気化室の一側に備えられた排出口と、試料運搬用ガスが流入されるように前記気化室の一側に備えられた運搬ガス流入口と、前記プレートの全面を均一に加熱するように前記気化室内に前記プレートに対向して設けた熱源とを具備する。

請求項（抜粋）：

気化室と、前記気化室に設けられた試料注入口を通して、前記気化室の内部に気化対象試料を供給する試料供給部と、前記気化室の内部に流入される前記試料を安着させるために、前記気化室の内部に設けられたプレートと、気化された試料を前記気化室の外部に送出するために、前記気化室の一側に備えられた排出口と、試料運搬用ガスが流入されるように、前記気化室の一側に備えられた運搬ガス流入口と、前記プレートの全面を均一に加熱するように、前記気化室の内部に前記プレートに対向して設けた熱源とを具備して構成されることを特徴とするバブラー。