特許
J-GLOBAL ID：200903038401163460
精密機器を支持する支持用具
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237014
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084038
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 異なる素材を組み合わせて精密機器の支持部を形成する場合も、温度変化による問題を抑えることができ、温度変化により性能に影響が及ぼされることを抑制した精密機器支持用具を提供する。【解決手段】 レーザー共振器等の精密機器を支持する支持用具であって、膨張係数の異なる材質を2以上積み重ねる(たとえば熱膨張係数がきわめて小さいインバーのベースプレート1と、ステンレスまたはアルミニウムの定盤2を組み合わせる)場合に、膨張係数が段階的に順次異なるようにする(たとえば該2つのプレートの材質の膨張係数の間の範囲の膨張係数をもつ材質のプレート4(たとえばベースプレートをなすインバーよりはステンレスまたはアルミニウムに近い膨張係数を有するインバー)を、該2つのプレートの間に介在させる)。
請求項（抜粋）：
精密機器を支持する支持用具であって、膨張係数の異なる材質のプレートを2以上積み重ねるとともに、各プレートは膨張係数が段階的に順次異なるように積み重ねたことを特徴とする精密機器を支持する支持用具。
IPC (4件)：
G12B 5/00
, F16B 5/00
, G02B 7/00
, H01S 3/02
G12B 5/00 A
, F16B 5/00 Z
, G02B 7/00 J
, H01S 3/02 Z
