特許
J-GLOBAL ID：200903038402490961
電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅井 英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-053903
公開番号（公開出願番号）：特開平7-262956
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 観察開始から現在までの間に試料面上のどの箇所にどれだけの電子線量が照射されたかを一目で識別することを可能として、迅速且つ正確な観察を可能とし、また貴重な試料を有効利用することが可能な電子顕微鏡を提供する。【構成】 まず、試料面内の観察可能な領域を仮想的に微小な領域単位に分割する。そして観察時に、演算手段によって当該微小領域単位ごとにどれだけの電子線量が照射されているかを逐次計算する。この計算値は、前記微小領域単位ごとにデータ格納領域を有する記憶手段に積算させていく。そしてその記憶された微小領域単位ごとのデータを、所定の電流量積算値の範囲ごとに表示色を変えるなどの方法で、視覚的に表示手段に表示する。
請求項（抜粋）：
試料面内の観察可能な領域を微小な領域単位に分割し、当該領域単位ごとにデータを読み書きできる記憶領域を有する記憶手段と、前記微小な領域単位に対応させてデータを表示しうる表示手段と、観察時に、試料に照射される電子線の総電流量と広がりの大きさとから、前記微小な領域単位ごとに照射された単位時間ごとの電流量を逐次計算し、その電流量計算値を順次積算させながら前記記憶手段の各々の記憶領域にデータとして記憶させるとともに、その記憶された領域単位ごとのデータを所定の電流量積算値の範囲ごとに表示方法を変えて前記表示手段に表示させる演算手段とを備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 501
, H01J 37/22 502
