特許
J-GLOBAL ID：200903038413158381
半導体磁界検知磁気ヘッドの製造方法およびそれにより製造される半導体磁界検知磁気ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004194
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267026
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 読み出しヘッドまたは読み出し書き込みヘッドとして用いて好適な半導体磁界検知磁気ヘッドの製造方法およびそのヘッドを提供する。【構成】 半導体磁界検知磁気ヘッドの製造方法およびそれにより得られるヘッドに関するものであり、シリコン基板30上に半導体センサ32を形成し、その後、ヘッドの磁気回路36、48、50、52、54を形成する。
請求項（抜粋）：
磁気読み出しヘッドの製造方法であって、シリコン基板(30)を基にして、第1段階として、前記シリコン基板(30)の一面上に少なくとも一つの磁界検知半導体センサ(32)を形成し、第2段階として、前記基板の同一面上におけるセンサ(32)の周囲に、基板(30)と平行な下部磁性層(36、36/1、36/2、72/1、72/2)と、基板(30)に垂直な2つの磁性柱状層(48、50、80/1、80/2)と、基板に平行で2つの磁性柱状層の上部に位置するとともにヘッドギャップ(54、86)を有する上部磁性層(52、84)とからなる磁気回路を形成する工程を有することを特徴とする半導体磁界検知磁気ヘッドの製造方法。
IPC (4件)：
G11B 5/37
, G01R 33/06
, G11B 5/31
, H01L 43/08
