特許

J-GLOBAL ID：200903038417807643

研磨装置

発明者： 東城 良介
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-070907
公開番号（公開出願番号）：特開平9-239657
出願日： 1996年03月04日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【目的】 動作時におけるサンギア及びインターナルギアの磨耗を防止することで、各ギアの長寿化とワークの汚染防止とを図ることができ、しかも、メインテナンスの簡略化を図ることができる研磨装置を提供する。【構成】 サンギア3と、このサンギア3と係合するキャリア7と、このキャリア7と内周部で係合するインターナルギア4と、これらのギアの上下に配された上定盤及び下定盤5とを具備し、キャリア7に保持されたワーク200を上,下定盤5で研磨する構成となっている。そして、サンギア3の歯部30を、外周縁部に立設されたピン体31と、ピン体31に回転可能に嵌められたリング体32とで形成し、インターナルギア4の歯部40を、内周縁部に立設されたピン体41と、ピン体41に回転可能に嵌められたリング体42とで形成した。

請求項（抜粋）：

サンギアと、このサンギアと係合するプラネットギアと、このプラネットギアと内周部で係合するインターナルギアと、これらのギアの上下に配された上定盤及び下定盤とを具備し、上記プラネットギアに保持されたワークを上記上,下定盤とで研磨する研磨装置において、上記サンギアの歯部を、上記プラネットギアの歯部との係合時に摩擦方向に回転する第1の回転部材と、この第1の回転部材を回転可能に支持する第1の支持部材とで形成し、上記インターナルギアの歯部を、上記プラネットギアの歯部との係合時に摩擦方向に回転する第2の回転部材と、この第2の回転部材を回転可能に支持する第2の支持部材とで形成した、ことを特徴とする研磨装置。