特許
J-GLOBAL ID：200903038425401508
制御電極及びこの制御電極を用いた可動イオン分離装置の帯電装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102787
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205124
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの一部領域における帯電を可能にし、複数箇所での可動イオン測定を可能にする。【解決手段】 BT処理の帯電処理においてシリコンウエハ7に対向配置されるチャージワイヤ37は断面コ字形のシールド電極32の開口面(ウエハに臨む面)に水平に張架されている。シールド電極32の開口面のチャージワイヤ37の前方には略中央に透過領域37が形成された制御電極33が設けられ、コロナ放電によるイオン化分子は制御電極33の透過領域37の領域でのみシリコンウエハ7表面に付与される。制御電極33によりシリコンウエハ7の透過領域37に対向する一部領域ARにのみ帯電可能にし、この一部領域ARでの可動イオンの測定を可能にした。
請求項（抜粋）：
帯電電極とこの帯電電極に生じたコロナ放電により帯電される被帯電物との間に介設される制御電極であって、上記コロナ放電で発生したイオンを上記被帯電物側に透過させる透過領域と上記被帯電物の帯電領域を制限する制限領域とが形成されている導電部材を有することを特徴とする制御電極。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 Q
, G01N 27/60 A
