距離計測装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165804
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009819
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】既存の光学顕微鏡に何等変更を加えずに標本の距離を測定できる距離計測装置を得る。【解決手段】ステージ3を光軸方向に駆動可能な光学顕微鏡1の標本画像をCCDカメラ2により撮像された画像を複数枚記憶するフレームメモリ8、8の画像をフレーム単位で加算記憶する加算器10と加算メモリ12、12の画像を回復処理する空間フィルタ回路14、14の画像または8の画像の何れか1つの画像を表示するテレビモニタ5、22の画像計測情報を前記いずれかの画像に重ねて表示するテレビモニター5、前記いずれかの画像のXY平面の位置を指示するポインティングデバイス6、2によって得られた画像のコントラストの最大値に対応するステージの位置の差から、標本の高さを測定するようにしたもの。

請求項（抜粋）：

標本に対する合焦位置を調節可能な焦準機構を有する光学顕微鏡と、前記焦準機構により合焦位置を変化させながら前記標本の複数の画像を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影した複数の画像を記憶する画像記憶手段と、前記画像記憶手段により記憶された複数枚の画像を加算し、記憶する画像加算記憶手段と、前記画像加算記憶手段により加算記憶された画像を読出し2次元の画像の回復処理を行う画像処理手段と、前記画像処理手段により処理された画像を表示する画像表示手段と、測定したい位置の画像を前記画像表示手段の画面で指示する座標位置指示手段と、前記画像記憶手段と、前記画像加算記憶手段と、前記座標位置指示手段の制御・演算を行う中央処理手段と、前記座標位置指示手段で指示した位置において前記撮影手段によって得られた複数の画像のうち最大コントラスト値を有する画像に対応するステージの位置を求め、それらの差から前記標本の距離を検出する合焦位置検出手段と、を具備したことを特徴とする距離計測装置。

IPC (6件)：

G01B 11/00 , G01C 3/06 , G02B 7/28 , G02B 21/00 , G03B 13/36 , H01L 21/66

FI (6件)：

G01B 11/00 B , G01C 3/06 P , G02B 21/00 , H01L 21/66 J , G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

前のページに戻る