ホール素子および磁気センサおよび磁気検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-066020
公開番号（公開出願番号）：特開2005-259803
出願日： 2004年03月09日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：

【課題】オフセット電圧を抑制して、より高い精度での磁気検出を可能とするホール素子および磁気センサおよび磁気検出方法を提供する。【解決手段】P型の半導体基板11の上にエピタキシャル成長されたN型の半導体層12表面のL2-L2線上に、電極15aおよび15bの電極の組と電極15cおよび15dの電極の組とをL1-L1線を対称軸として線対称の関係を有する態様で交互に配設する。これら2つの電極の組について、駆動電流供給用の電極の組とする電極の組とホール電圧検出用の電極の組とする電極の組とを入れ替えつつ基板(ウェハ)表面に水平な磁界成分の検出を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に電流を供給する電極および同基板から電流を取り出す電極により構成される駆動電流供給用の電極の組と、該駆動電流供給用の電極の組の少なくとも一方の電極を挟むかたちで配設されて前記基板に供給される電流に対するホール電圧を検出可能とするホール電圧検出用の電極の組とを当該基板の同一表面に少なくとも1組ずつ有し、それら2種の電極の組を通じて前記基板の表面に水平な磁界成分を検出するホール素子において、前記駆動電流供給用の電極の組とする電極の組と前記ホール電圧検出用の電極の組とする電極の組との2組の電極の組を入れ替えることによって前記基板の表面に水平な磁界成分の検出を行うときのオフセット電圧の少なくとも一部が打ち消されるような配置をもって前記2組の電極の組が配設されてなることを特徴とするホール素子。

IPC (3件)：

H01L43/08 , G01R33/07 , H01L43/06

FI (5件)：

H01L43/08 P , H01L43/08 A , H01L43/06 S , H01L43/06 U , G01R33/06 H

Fターム (2件)：

2G017AA01 , 2G017AD53

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平2-094580
特開昭60-187072
特開平4-026170

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