特許

J-GLOBAL ID：200903038440992822

マイクロ波回路

発明者： 石丸 淳
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-297495
公開番号（公開出願番号）：特開2002-111325
出願日： 2000年09月28日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：

【要約】【課題】 回路基板を小型化し、キャパシタの電極からバイアホールまでの線路長が短いマイクロ波回路を提供すること。【解決手段】 上面から下面まで貫通するバイアホール12が形成された回路基板11と、バイアホール12の内壁に形成された第1金属膜14と、この第1金属膜14上に形成された誘電体膜15と、この誘電体膜15上に形成された第2金属膜16とを具備している。

請求項（抜粋）：

上面から下面まで貫通するバイアホールが形成された回路基板と、前記バイアホールの内壁に形成された第1金属膜と、この第1金属膜上に形成された誘電体膜と、この誘電体膜上に形成された第2金属膜とを具備したマイクロ波回路。

IPC (4件)：

H01P 3/08 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (3件)：

H01P 3/08 ,  H01L 21/88 J ,  H01L 27/04 C

Fターム (20件)：

5F033GG02 ,  5F033HH07 ,  5F033JJ07 ,  5F033KK07 ,  5F033MM30 ,  5F033PP19 ,  5F033PP27 ,  5F033QQ07 ,  5F033QQ37 ,  5F033XX00 ,  5F033XX08 ,  5F038AC02 ,  5F038AC05 ,  5F038AC10 ,  5F038DF02 ,  5F038EZ02 ,  5F038EZ20 ,  5J014CA01 ,  5J014CA42 ,  5J014CA56