固体材料をドーピングするための方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：合田潔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-519495
公開番号（公開出願番号）：特表平8-503339
出願日： 1993年03月08日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】電極の1つとして電気化学セル(1、2、5、6)とホスト材料(2)を使用し、たとえばチップ(1)など特別に設計された対電極を使用するか、あるいは選択された領域を除いて層によってホスト材料(2)を覆うことによって、ドーピングが、ホスト材料の選択された領域に閉じこめられる、好ましくは膜である固体ホスト材料(2)のためのドーピング方法。この方法は、ドーパントとして酸素を使用し、酸化物超伝導体を形成するのに特に適する。走査型トンネル顕微鏡から既知の制御装置と(圧電)変換器を使用することによって、サブミクロン分解能のドーピング領域を作ることができる。

請求項（抜粋）：

固体材料からなる第1電極と、第2電極を含む少なくとも2つの電極と、ドーパントを含む電解液とを有する電気化学セルを使用し、電界を作成するために2つの電極の間に電圧を印加することによって半導体または導体の固体材料をドーピングする方法において、前記電界が、選択された領域に実質上集中して、前記固体材料の前記選択された領域にドーピングを効果的に閉じ込めることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

H01L 39/24 ZAA , C25D 15/02 , C30B 31/06 , H01L 21/228

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭59-017530
特開昭61-125093
特公昭59-017530

全件表示

前のページに戻る