特許
J-GLOBAL ID:200903038445757236
反射防止膜及び光学部品
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 高柴 忠夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-156103
公開番号(公開出願番号):特開2005-338366
出願日: 2004年05月26日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】 可視域(400〜700nm)から赤外域(700〜1000nm)に亘る広帯域で、高い反射防止性能を有すること。【解決手段】光学基板2側から数えて第1、3、5及び7層に、屈折率が2.5以上3.1以下の高屈折率膜を成膜し、光学基板2側から数えて第2、4、6及び8層に、屈折率が1.5以上1.8以下の中間屈折率膜と、屈折率が1.3以上1.5未満の低屈折率膜との少なくとも一方を成膜したものであり、前記各層の光学的膜厚ndが、設計波長λに対して、第1層は(0.05〜0.25)×λ/4、第2層は(0.26〜1.1)×λ/4、第3層は(0.39〜0.68)×λ/4、第4層は(0.15〜0.40)×λ/4、第5層は(2.57〜2.76)×λ/4、第6層は(0.29〜0.47)×λ/4、第7層は(0.25〜0.42)×λ/4、第8層は(1.24〜1.28)×λ/4とした反射防止膜を提供する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の層を有して光学基板上に設けられる反射防止膜であって、
前記光学基板側から数えて第1、3、5及び7層に、屈折率が2.5以上3.1以下の高屈折率膜を成膜し、
前記光学基板側から数えて第2、4、6及び8層に、屈折率が1.5以上1.8以下の中間屈折率膜と、屈折率が1.3以上1.5未満の低屈折率膜との少なくとも一方を成膜したものであり、
前記各層の光学的膜厚nd(nは薄膜の屈折率、dは物理的膜厚)が、設計波長λに対して、第1層は(0.05〜0.25)×λ/4、第2層は(0.26〜1.1)×λ/4、第3層は(0.39〜0.68)×λ/4、第4層は(0.15〜0.40)×λ/4、第5層は(2.57〜2.76)×λ/4、第6層は(0.29〜0.47)×λ/4、第7層は(0.25〜0.42)×λ/4、第8層は(1.24〜1.28)×λ/4としたことを特徴とする反射防止膜。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (6件):
2K009AA09
, 2K009BB02
, 2K009CC03
, 2K009CC06
, 2K009DD03
, 2K009DD07
引用特許:
前のページに戻る