特許
J-GLOBAL ID：200903038447861235
超精密鏡面加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-074029
公開番号（公開出願番号）：特開平5-096468
出願日： 1991年03月12日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】 被加工物の加工面に超微粉体を流動接触させて、歪み、クラック及び熱変質等を全く生じさせずに鏡面加工を進行させる超精密鏡面加工方法である。【構成】 超微粉体を分散させた懸濁液中に配した被加工物の近傍に、該加工面と平行となして長尺円柱状の加工体を配し、該加工体を加工面に一定荷重にて押圧しながら回転させるとともに、加工体の軸方向を基準として0〜90度の範囲内で所定角度傾斜した方向へ被加工物を相対的に平行移動させて超微粉体と加工面界面での相互作用により面加工を進行させるのである。
請求項（抜粋）：
超微粉体を一様に分散した懸濁液中に配した平面状の加工面を有する被加工物の近傍に、該加工面と平行となして長尺円柱状の加工体を配するとともに、該加工体を前記加工面に一定荷重にて押圧しながら回転させて、該加工面の微小領域に面に沿った方向の懸濁液流を発生させ、更に前記加工体の軸方向を基準として0〜90度の範囲内の所定角度傾斜した方向へ前記被加工物を相対的に平行移動させて超微粉体と加工面界面での相互作用により面加工を進行してなることを特徴とする超精密鏡面加工方法。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 37/00
, H01L 21/304 321
