単結晶インゴットの端面測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：横川邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-317355
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146257
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】単結晶インゴットの端面と結晶格子面との間の偏差角を直接的に正確に測定できる単結晶インゴットの端面測定装置を提供する。【構成】 X線源3及びX線カウンタ15を有する180 ゚-2θ光学系の全体が連結具21を介してエンコーダ18のケーシング20に連結され、ガイド板16と一体な中心軸10にエンコーダ18の回転軸19が連結される。180 ゚-2θ光学系はウオーム23及びウオームホイール22によって駆動されて試料軸線ωを中心としてその全体が回転できる。インゴット端面1aをガイド板16に面接触させた状態で、X線源3からその端面1aにX線を照射し、180 ゚-2θ光学系の全体を回転させて回折X線が生じる回転角度を探し出し、そのときの回転角度をエンコーダ18によって測定する。

請求項（抜粋）：

単結晶インゴットの端面と結晶格子面との偏差角度を測定する単結晶インゴットの端面測定装置において、単結晶インゴットの中心軸線に対して直角の方向へ延びる試料軸線を中心として回転可能に設けた試料ガイド板と、上記試料軸線を中心として回転可能に設けられていて、単結晶インゴットの端面にX線を照射し、そこで回折する回折X線を検出する180 ゚-2θ光学系と、試料ガイド板又は180 ゚-2θ光学系のいずれか一方にエンコーダ回転軸が連結され、試料ガイド板又は180 ゚-2θ光学系の他方にケーシングが固定されたエンコーダと、上記180 ゚-2θ光学系を試料軸線を中心として回動させる光学系駆動手段とを有することを特徴とする単結晶インゴットの端面測定装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平3-255948
特開昭57-136151
特開平4-264241

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