特許

J-GLOBAL ID：200903038455554007

感光性組成物

発明者： 上村 次郎 ,  佐々木 充 ,  中井 英之 ,  秋山 健夫 ,  松村 智之
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社 ,  コニカ株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-260869
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100421
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【構成】感光性組成物で、少なくともキノンジアジドスルホン酸エステル、アルカリ可溶性樹脂、露光によって酸を生成する化合物、o-ナフトキノンジアジド-6-スルホン酸ハロゲンド、及び、有機染料を含有する。【効果】優れた露光可視画性、かつ、優れた保存安定性を有する。

請求項（抜粋）：

少なくとも(a)キノンジアジドスルホン酸エステル(b)アルカリ可溶性樹脂(c)露光によって酸を生成する化合物(d)o-ナフトキノンジアジド-6-スルホン酸ハロゲニドおよび(e)有機染料を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 507 ,  H01L 21/027