特許
J-GLOBAL ID:200903038457002818
浮遊塵埃測定装置および浮遊塵埃測定方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
桑井 清一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-041873
公開番号(公開出願番号):特開平7-229826
出願日: 1994年02月16日
公開日(公表日): 1995年08月29日
要約:
【要約】【目的】 浮遊塵埃の測定を短時間に行うとともに、測定精度の向上を図る。【構成】 レーザ発振器11から発せられたレーザ光を複数の鏡面を備えたポリゴンミラー12により走査させる。浮遊塵埃は走査光13を受けて散乱光16を発する。この散乱光16は矩形の開口部を有するマスク17を介してCCDカメラ18により検出される。コンピュータ19はCCDカメラ18により検出された散乱光16に基づき所定体積中の浮遊塵埃の総量を測定する。本発明によれば、ポンプおよびサンプリングチューブを設ける必要がないため、サンプリングチューブ内壁に塵埃が付着することによる測定精度の低下を防止することができる。
請求項(抜粋):
レーザ光源と、レーザ光源から発せられたレーザ光を被測定空間内の仮想平面上において走査させる水平走査手段と、仮想平面上を走査しているレーザ光を、仮想平面に対して垂直方向に走査させる垂直走査手段と、仮想平面のうちの所定面積部分から発せられた散乱光を検出する二次元センサとを備えたことを特徴とする浮遊塵埃測定装置。
IPC (4件):
G01N 15/06
, G01N 15/02
, G01N 21/27
, G01N 21/49
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平4-273042
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特開平4-054440
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特開昭61-262633
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