特許
J-GLOBAL ID：200903038459288280
防塵収納ケース
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小宮 良雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107290
公開番号（公開出願番号）：特開平5-304068
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 保管中、ペリクルに対するゴミの付着を有効に防止出来る露光用マスク基板の防塵収納ケースを提供する。【構成】 体積抵抗が1010Ω・cm以下、水に対する接触角が60度以下の材質で収納部内の表面が形成されている。周囲のゴミを吸引しにくく、収納ケースに付着するゴミの量を減少させる。仮にゴミが付着しても、表面に固着させない。エアーブローや純水による洗浄で容易に取り除くことができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも収納部内の表面が、体積抵抗1010Ω・cm以下、水に対する接触角60度以下の材質で形成されていることを特徴とする露光用マスク基板の防塵収納ケース。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, B08B 17/02
, B65D 81/00
, B65D 85/84
, H01L 21/68
