特許
J-GLOBAL ID:200903038459526288
感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-268929
公開番号(公開出願番号):特開2009-098344
出願日: 2007年10月16日
公開日(公表日): 2009年05月07日
要約:
【課題】波長400〜440nmの露光において、十分な感度及び解像度でレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント、プリント配線板の製造方法を提供する。【解決手段】(A)バインダーポリマー(B)重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物(C)光ラジカル重合開始剤(D)下記一般式(1)で表される化合物を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】図1
請求項(抜粋):
(A)バインダーポリマーと、(B)重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光ラジカル重合開始剤と、(D)下記一般式(1)で表される化合物とを含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/004
, H05K 3/00
, C08F 2/50
FI (4件):
G03F7/004 503Z
, G03F7/004 512
, H05K3/00 F
, C08F2/50
Fターム (38件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC43
, 2H025CA14
, 2H025CA28
, 2H025CA41
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CC13
, 2H025CC15
, 2H025FA15
, 2H025FA40
, 2H025FA43
, 4J011QA12
, 4J011QA14
, 4J011QA19
, 4J011QA22
, 4J011QA24
, 4J011QA33
, 4J011QA46
, 4J011QB16
, 4J011RA03
, 4J011RA04
, 4J011RA10
, 4J011RA19
, 4J011SA78
, 4J011SA90
, 4J011UA01
, 4J011UA02
, 4J011UA06
, 4J011VA01
, 4J011WA01
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