特許
J-GLOBAL ID：200903038465132429
マスキングフィルムの付着方法およびこれに使用されるマスキングフィルム付着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-076812
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211675
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 ウェハーを付着したマスキングフィルムテープを円滑で正確に移送し、ウェハーを切断位置に正確に位置するためのマスキングフィルムの付着方法およびこれに使用される装置を提供する。【構成】 上部接着ローラ9aと下部接着ローラ9bとの間を通過することによりマスキングフィルムテープ3とウェハー11とが接着される。ウェハー11が接着ローラ9a、9bを完全に通過した後、上部接着ローラ9aを上部に移動させて切断テーブル13とマスキングフィルムテープ3との距離を増加させる。マスキングフィルムテープ3と切断テーブル13との距離を一定に維持しながらマスキングフィルムテープ3を切断位置に移送した後、マスキングフィルムテープ3をウェハー11の形に沿い切断する。これにより、マスキングフィルムテープ3がウェハー11の自重により垂下がり切断テーブル13に付着することを防止する。
請求項（抜粋）：
ウェハーをマスキングフィルムテープに接着させる段階と、前記ウェハーの接着されたマスキングフィルムテープが下部構造物に接着されないように下部構造物から前記マスキングフィルムテープを一定の距離さらに隔離させる段階と、前記下部構造物と前記マスキングフィルムテープとの間に一定距離を維持させ前記マスキングフィルムテープを切断位置に移送させる段階と、前記マスキングフィルムテープを前記ウェハーの形に沿って切断する段階とから構成されることを特徴とするマスキングフィルムの付着方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, H01L 21/68
, H01L 21/301
