特許
J-GLOBAL ID：200903038468948330
ターボ分子ポンプ駆動電源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345422
公開番号（公開出願番号）：特開平7-177785
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 負荷により変化する負荷電流及び、実回転数をフィ-ドバックすることにより出力電圧を連続して制御し負荷に応じて安定した電圧電流を供給するタ-ボ分子ポンプ駆動電源装置を提供すること。【構成】 インバータ10及びインバータの出力電圧を検出する電圧検出回路25を有し、電圧検出回路25で検出された検出出力電圧を電圧制御回路22及びPWM制御器21を介してフィ-ドバックさせ出力電圧を制御するタ-ボ分子ポンプ駆動電源装置において、タ-ボ分子ポンプ40の回転数を検出する回転数検出器31を設け及び負荷電流を検出する電流検出回路26、検出負荷電流及び検出回転数を誤差アンプ28を介して電圧制御回路22にフィ-ドバックさせ、負荷の変動に対して常に力率=1の近辺で運転されるように出力電圧を自動調整する。
請求項（抜粋）：
インバータ及びインバータの出力電圧を検出する電圧検出手段を有し、前記電圧検出手段で検出された検出出力電圧をフィ-ドバックさせ出力電圧を制御する電圧制御手段を具備するタ-ボ分子ポンプ駆動電源装置において、タ-ボ分子ポンプの回転数を検出する回転数検出手段を設け及び負荷電流を検出する電流検出手段、前記電圧制御手段へ検出負荷電流及び検出回転数をフィ-ドバックさせる調整手段を設け、調整手段は負荷の変動に対して常に力率=1の近辺で運転されるように出力電圧を自動調整することを特徴とするタ-ボ分子ポンプ駆動電源装置。
IPC (3件)：
H02P 5/41 302
, H02M 7/48
, H02P 7/63 302
