特許
J-GLOBAL ID：200903038475831970
照明光学系および該照明光学系を備えた投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-112378
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288205
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ライトガイドが可撓性高く、その射出端の移動により損傷を受け難い照明光学系と、該照明光学系を備えた投影露光装置を提供する。【構成】 光源1からの放射光は楕円鏡2で集光され第2焦点位置に光源像を形成後、インプットレンズ3で平行光束に変換され、フライアイレンズ4で分割され複数の二次元光源が形成され、開口絞り5と集光レンズ6を経た光束はミラー7で反射され、レチクル8を照明し露光照明光学系が構成される。レチクル透過光は投影光学系10によりウエハ11にパターンを転写する。一方光源1とレンズ3との間に挿脱自在なシャッタ14を設け、楕円鏡2による光源像の位置で光源像からの光を照明光学系の光路外に取出し、レンズ系16でライトガイド入射端17a光源像を形成する。ライトガイド17は多数の光ファイバ18が束ねられ、可動射出端側17b,17cは分岐され入射端側より低密度の束である。
請求項（抜粋）：
照明光を供給するための光源手段と、該光源手段からの光を入射端から可動射出端まで導くためのライトガイド手段とを備え、該ライトガイド手段の前記可動射出端からの光を可動目標物に照射する照明光学系において、前記ライトガイド手段は束ねられた多数の光ファイバーを有し、前記多数の光ファイバーは、前記可動射出端側において前記入射端側よりも実質的に低密度に束ねられていることを特徴とする照明光学系。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, F21V 8/00
, G03F 7/20 521
, G03F 7/207
H01L 21/30 525 F
, F21V 8/00 B
, G03F 7/20 521
, G03F 7/207 H
, H01L 21/30 515 D
