特許

J-GLOBAL ID：200903038476172279

ゲッタ装置およびセンサ

発明者： 佐藤 文紀 ,  内山 誠 ,  廣田 正樹
出願人/特許権者： 日産自動車株式会社
代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-292621
公開番号（公開出願番号）：特開2002-098046
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】ゲッタ材の活性化が均一にでき、ゲッタ材の量を必要最小限にする。【解決手段】シリコン基板101上に設けた薄膜ヒータ102と、薄膜ヒータ102上に設けたゲッタ層103とを有する。

請求項（抜粋）：

基板上に設けた薄膜ヒータと、前記薄膜ヒータ上に設けたゲッタ層とを有することを特徴とするゲッタ装置。

IPC (2件)：

F04B 37/02 ,  G01J 1/02

FI (2件)：

F04B 37/02 A ,  G01J 1/02 C

Fターム (9件)：

2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA38 ,  3H076AA24 ,  3H076BB21 ,  3H076BB41 ,  3H076BB50 ,  3H076CC51 ,  3H076CC99