特許
J-GLOBAL ID：200903038484307655
フィラメント断線検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-106226
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274866
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 イオン源の熱フィラメントの断線を自動的に事前検出する。【解決手段】 熱フィラメントに給電するフィラメント電源の電源電圧又は熱フィラメントの端子間電圧を計測する電圧計1と、この電圧計1の計測電圧のデータを周期的に取込み,取込んだデータと直前のデータとの電圧差を求めて熱フィラメントの電圧変化を監視する電圧監視手段と、前記電圧差が設定した許容範囲をこえたときに熱フィラメントの断線を事前検知する断線検知手段と、前記事前検知に基づき熱フィラメントの断線を予報して警告する断線報知手段とを備える。
請求項（抜粋）：
薄膜形成装置,イオン注入装置等に設けられ熱フィラメントを電子放出源とするイオン源のフィラメント断線検出装置において、前記熱フィラメントに給電するフィラメント電源の電源電圧又は前記熱フィラメントの端子間電圧を計測する電圧計と、前記電圧計の計測電圧のデータを周期的に取込み,取込んだデータと直前のデータとの電圧差を求めて前記熱フィラメントの電圧変化を監視する電圧監視手段と、前記電圧差が設定した許容範囲をこえたときに前記熱フィラメントの断線を事前検知する断線検知手段と、前記事前検知に基づき前記熱フィラメントの断線を予報して警告する断線報知手段とを備えたことを特徴とするフィラメント断線検出装置。
IPC (8件)：
H01J 27/02
, C23C 14/32
, C23C 14/46
, C23C 14/48
, G01R 31/02
, H01J 37/08
, H01J 37/317
, H01L 21/265
H01J 27/02
, C23C 14/32 B
, C23C 14/46 Z
, C23C 14/48 Z
, G01R 31/02
, H01J 37/08
, H01J 37/317 Z
, H01L 21/265 D
