特許
J-GLOBAL ID：200903038487989544
複合偏光フィルタおよびICリード検査システム
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-176731
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019528
出願日： 1996年07月05日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 エンボステープに搭載されたICパッケージのリードの虚像の影響を排除することができる複合偏光フィルタおよびこれを用いたICリード形状検査システムを提供する。【解決手段】 4つの四半円形の偏光フィルタ15、16、17、18を組み合わせて複合偏光フィルタ20を構成する。この複合偏光フィルタ20を通して、エンボステープ12のエンボス内に収納されたICパッケージ14をその上側から撮像する。隣接する偏光フィルタの偏光軸は直交関係にある。エンボス内壁48上でのリード42の虚像形成に寄与するエンボス内壁48での反射光は、当該エンボス内壁に対応する偏光フィルタにより遮断または低減される。
請求項（抜粋）：
エンボステープに搭載されたICパッケージを撮像する際に用いる複合偏光フィルタであって、前記ICパッケージの、前記エンボステープのエンボス内壁に生じる虚像を排除するために、各エンボス内壁の反射光を遮断または低減するよう複数の偏光フィルタを組み合わせて構成したことを特徴とする複合偏光フィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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