特許
J-GLOBAL ID：200903038488901225
音叉型圧電ジャイロセンサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238869
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065579
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：
【要約】【課題】 小型で高感度の音叉型圧電ジャイロセンサを提供する。【解決手段】 音叉型圧電ジャイロセンサにおいて、圧電セラミック音叉の主面に平行に1個もしくは複数層の内部電極を有し、これらの電極は積層セラミックキャパシタの製造方法と同様に圧電セラミック音叉とともに一体焼結されて製造することができる。このような内部電極を圧電体内部に設けることにより、電極間の距離を2分の1以下とし、電界の曲がりを極小にする。これにより、実効的電気機械結合係数を大きくすることが可能である。その結果、小型でかつ高感度を図った音叉型圧電ジャイロセンサを提供することができる。また、本発明音叉型圧電ジャイロセンサは、電極構成が全て内部電極で構成され、外表面部を研磨などにより、圧電セラミック音叉振動子の焼結歪みの調整や周波数の離調を行うことができることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
音叉型圧電ジャイロセンサにおいて、a)駆動側アーム部の厚みの中央部分に主面に平行に2個の内部電極が配置され、b)該内部電極は該アーム部の幅方向中央部分で分断されており、c)該内部電極に相対向する外面近傍に主面に平行にそれぞれ4個の内部電極が設けられ、d)該駆動側アームの外側面側と内側面側とは互いに分極方向が逆方向となっており、e)外側面側が伸びたとき、内側面側は縮むように電気的に結線され、音叉の面内振動を励振できる構造になっており、f)一方、検出側アームには厚み方向の中央部分に主面と平行に一層の内部電極が配置され、g)厚み方向に一様に分極処理がなされ、h)該内部電極に相対向して主面に平行でかつ主面近傍に2個の内部電極が設けられ、i)該2個の内部電極を共通とし電気端子を取り出し、j)主面の厚み方向中央部分に設けられた内部電極から別の電気端子を取り出し、面垂直振動を検出することができる電気端子対としたこと、を特徴とする音叉型圧電ジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105AA08
, 2F105BB02
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
