特許
J-GLOBAL ID：200903038490825846
研磨のための被加工物の保持具及びその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313380
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155730
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：
【要約】【課題】容易な脱着法により被加工物の保持にかかわる作業時間を短くし、研磨液による被加工物の保持用の機器へのダメージをなくすことにより機器の保繕を容易にし、かつ被加工物の研磨後の平坦度を改善することができる被加工物の保持具およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 研磨プレート10上に設けられている研磨パッド11に、被加工物7の加工面を摺接させるための被加工物7の保持具8である。保持具8は、裏面からの吸引により被加工物7を表面に吸着させる通気性セラミックスからなる基板1と、基板1の外周部に設けられたシール部2と、被加工物7の周囲外側において基板1に取り付けられており、被加工物7の外端部研磨ダレを抑制するためのリテーナーリング4と、リテーナーリング4と基板1との間に設けられており、リテーナーリング4を対向する前記研磨パッド11側へ圧接させるためのバックアップリング5と、を有する。
請求項（抜粋）：
研磨プレート上に設けられた研磨パッドに、被加工物の加工面を摺接させるための被加工物の保持具であって、裏面からの吸引により該被加工物を表面に吸着させる通気性セラミックスからなる基板と、該基板の外周部に設けられた通気性を低下させるシール部と、該被加工物の周囲外側において該基板に装着されており、該被加工物の外端部研磨ダレを抑制するためのリテーナーリングと、該リテーナーリングと該基板との間に設けられており、リテーナーリングを対向する前記研磨パッド側へ圧接させるためのバックアップリングと、を有する被加工物の研磨用保持具。
引用特許：
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